MEMS流量傳感器
MEMS流量傳感器(COB封裝）
MEMS熱式流量傳感器是一種利用流體傳熱原理的流體測量器件，可以用于檢測氣體流量、微差壓、風(fēng)速。主要用于醫(yī)療、儀器、燃?xì)獾阮I(lǐng)域，提供高精度低功耗流量檢測。月產(chǎn)能≥50K。
精度高
精度高：直接測量質(zhì)量流量不引入二次誤差
響應(yīng)快：＜10ms的快速測量
靈敏度高：能對微小流量進(jìn)行測量
可靠性強(qiáng)
無可動(dòng)部件，長期保持測量性能
流場適應(yīng)性強(qiáng)，無需特定的直管段要求
集成化
傳感器與電路集成：支持IIC和線性模擬電壓輸出
低功耗
